特許
J-GLOBAL ID：200903003528038551
水分発生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266383
公開番号（公開出願番号）：特開平6-115903
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 ppt、ppbの低濃度から%オーダーの高濃度まで広い範囲でかつ多量の正確な濃度でかつの超高清浄度の水分の混合ガスが得られ、さらに、応答性が速く、保守も簡単な水分発生方法を提供することを目的とする。【構成】 水素と酸素を反応させ水分を発生させる方法において、水素、酸素およびイナートガスを混合し第一の混合ガスを作製する混合ガス作製工程と、水素および酸素をラジカル化し得る触媒作用を有する材料で構成された反応管内に該第一の混合ガスを導入するとともに該反応炉管内を加熱することにより該第一の混合ガスに含まれる水素と酸素を反応させ水を発生させる水分発生工程とからなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
水素と酸素を反応させ水分を発生させる方法において、水素、酸素およびイナートガスを混合し第一の混合ガスを作製する混合ガス作製工程と、水素および酸素をラジカル化し得る触媒作用を有する材料で構成された反応管内に該第一の混合ガスを導入するとともに該反応炉管内を加熱することにより該第一の混合ガスに含まれる水素と酸素を反応させ水を発生させる水分発生工程とからなることを特徴とする水分発生方法。
IPC (2件)：
C01B 5/00
, G01N 1/00 102
