特許

J-GLOBAL ID：200903003534131725

非接触型移動テーブル

発明者： 山崎 信人 ,  鳥畑 稔 ,  牧 真二
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227975
公開番号（公開出願番号）：特開平6-056234
出願日： 1992年08月04日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】構造が簡単で軸受面が少なく、小型化、軽量化及びコスト低減並びに使用材料の範囲が広い非接触型移動テーブルを提供する。【構成】平面な上面をガイド面とするガイドテーブルと、ガイドテーブルに載置され、ガイドテーブルのガイド面に対応した移動面2aを有する移動テーブル2とを備え、移動テーブル2には、該移動テーブル2の移動面2aよりガイドテーブルのガイド面に向けて圧縮エアーを吹き出すエアー吹き出し穴2gと、ガイドテーブルのガイド面側よりエアを吸引するエアー吸引穴2とが設けられ、ガイドテーブルのガイド面と移動テーブル2の移動面2aとで1面の非接触剛性軸受を構成している。

請求項（抜粋）：

平面な上面をガイド面とするガイドテーブルと、このガイドテーブルに載置され、ガイドテーブルのガイド面に対応した移動面を有する移動テーブルとを備え、移動面又はガイド面の何れか一方には、該一方の面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、他方の面側より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルのガイド面と移動テーブルの移動面とで1面の非接触剛性軸受を構成して成ることを特徴とする非接触型移動テーブル。

IPC (3件)：

B65G 7/06 ,  B23Q 1/02 ,  F16C 32/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭62-001126
  
• 特公昭39-016956
  
• 特公昭63-054606