特許

J-GLOBAL ID：200903003535104357

真空紫外分光測定装置

発明者： 乳井 勝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-000096
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202266
出願日： 2002年01月04日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】 真空紫外波長領域の分光測定において、測定環境が真空紫外波長領域の放射を吸収しにくい気体で充填された状態であっても、極微量に残存するO2濃度のために生ずる放射束の伝播量の時間的、空間的変化を受け難くし、高精度な分光測定を行えるようにするものである。【解決手段】 測定環境が真空紫外波長領域の放射を吸収しにくい気体で充填された状態で、光源から射出する放射束を光分割手段により分岐する光路があり、その光分割手段から受光素子に至るまでの光路に周囲測定環境の気体と隔離された真空部分が形成されているか、または真空紫外領域の波長が透過する光学部材を設置した真空紫外分光測定装置。

請求項（抜粋）：

真空紫外分光測定装置において、測定環境が真空紫外波長領域の放射を吸収しにくい気体で充填された状態で、光源から射出する放射束を光分割手段により分岐する光路があり、その光分割手段から受光素子に至るまでの光路に周囲測定環境の気体と隔離された真空部分が形成されていることを特徴とする真空紫外分光測定装置。

IPC (2件)：

G01J 3/42 ,  G01N 21/33

FI (2件)：

G01J 3/42 Z ,  G01N 21/33

Fターム (23件)：

2G020AA05 ,  2G020AA06 ,  2G020CB05 ,  2G020CB07 ,  2G020CB44 ,  2G020CC48 ,  2G020CD03 ,  2G020CD22 ,  2G020CD38 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059EE01 ,  2G059FF08 ,  2G059FF09 ,  2G059GG10 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03