特許
J-GLOBAL ID：200903003535774816
X線分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098272
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294659
出願日： 2002年04月01日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】分光結晶及び検出器の配置位置に関して従来よりも広い自由度があり、感度を高く保つことができ、しかも分光結晶あるいは検出器を動かすことなく多元素分析を行うことができるようにする。【解決手段】電子ビーム1が試料2に照射されると、その電子ビーム1の照射位置の元素からX線が放射される。そのX線はX線集光手段3によって集光されて分光結晶4の入射面に入射され、回折条件を満足するX線のみが回折されてCCDカメラ5の受光面に入射する。CCDカメラ5の受光面に入射したX線はCCDカメラ5によって撮像される。CCDカメラ5で撮像された画像のデータは処理手段6によって所定の処理が施され、スペクトルが作成される。
請求項（抜粋）：
試料から放射された特性X線を集光するX線集光手段と、特性X線が入射する入射面が凹状に湾曲されてなり、前記X線集光手段で集光された特性X線を回折する波長分散型X線分光結晶と、前記波長分散型X線分光結晶で回折された特性X線が受光面に入射されるX線検出手段とを備えることを特徴とするX線分析装置。
Fターム (15件)：
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001DA08
, 2G001DA09
, 2G001EA01
, 2G001EA02
, 2G001GA01
, 2G001HA13
, 2G001JA06
, 2G001KA01
, 2G001NA30
, 2G001SA02
, 2G001SA29
, 2G001SA30
