特許
J-GLOBAL ID：200903003538756584
モータ装置、ステージ装置、及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233330
公開番号（公開出願番号）：特開2001-061269
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 ステージの構成を簡素化しつつ、ステージの非接触駆動が可能なステージ装置を提供する。【解決手段】 軸方向に磁化された円筒型磁石を軸方向に沿って順次配列して、磁極ユニットを構成する。この磁極ユニットが発生する磁束密度分布中に配置された円筒状の電機子コイル45に、軸方向駆動用の電流と径方向駆動用の電流とを重畳した電流を供給することにより、軸方向駆動力とともに、浮上支持を行うための支持力を発生させる。また、磁極ユニットが発生する磁束密度分布中において径方向の磁気力を発生させる磁気ガイド装置70a,70bを配置して、浮上支持を行うための支持力を発生させる。
請求項（抜粋）：
所定の軸を中心軸とする筒状の形状を有し、前記所定の軸の軸方向に沿って配設された複数の磁石を含み、前記軸方向に沿って、前記所定の軸に関する径方向成分及び軸方向成分が互いに異なる位相で変化する磁束密度を発生する磁極ユニットと;前記所定の軸の軸方向に沿って配設された複数の電機子コイルを含む電機子ユニットと;前記各電機子コイルに供給する電流を制御することにより、前記各電機子コイルの電流経路に発生する、前記径方向のローレンツ力及び前記軸方向のローレンツ力を制御する第1電流制御装置とを備えるモータ装置。
Fターム (19件)：
5H641BB06
, 5H641BB14
, 5H641BB17
, 5H641BB18
, 5H641GG03
, 5H641GG08
, 5H641GG11
, 5H641GG12
, 5H641GG24
, 5H641GG26
, 5H641GG27
, 5H641GG29
, 5H641HH02
, 5H641HH04
, 5H641HH05
, 5H641JA07
, 5H641JA19
, 5H641JB04
, 5H641JB05
