特許

J-GLOBAL ID：200903003542461572

プローブ

発明者： 鈴木 美彦 ,  中野 勝志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130164
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326349
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 高速な計測を可能とするカンチレバーを得る。【解決手段】原子間力顕微鏡用のプローブにおいて、カンチレバー11は、支持体10から探針12の方向へ向かって形成されたV溝14を有する。

請求項（抜粋）：

原子間力顕微鏡用のプローブにおいて、カンチレバーを厚み方向へ屈曲させて剛性を高めたことを特徴とするプローブ。