プローブ顕微鏡

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山口邦夫 , 佐々木榮二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-008463
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201904
出願日： 2005年01月14日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：

【課題】プローブ顕微鏡を用いた、迅速且つ精度のよい微小寸法を計測する方法の改良技術を提供する。【解決手段】関連する構造特徴の各データ点の直接測定と変位に基づく走査とプローブ針先の斜めアプローチの軌跡と側方向の力の検出を組み合わせて、プローブ計測の精度と速度を改善する。関連する構造特徴の各データ点の空間位置の直接測定は、システムドリフとを最少にして測定精度を上げながらも微小寸法の決定をより迅速にする。変位に基づく走査を行うことによって、精度とスループットが更に改善される。プローブ針先の斜めアプローチの軌跡を用いることによって、柔軟な接触に対する感度が改善される。側方向の力を検出することによって、針先及び/又は試料表面への損傷を抑えながらもスループットが改善される。【選択図】図6(B)

請求項１：

予測される空間的な配置関係(topography)と既知のおおよその位置を有する、試料上の構造特徴(feature)の少なくとも一つの寸法を決定する方法であって、プローブ針先を有するプローブ顕微鏡に試料を搭載する工程と、構造特徴を探知するのに足りる、複数の位置決めデータ点の数と位置を決める工程と、各位置決めデータ点において、前記試料の高さに関連するデータを分析する工程と、各位置決めデータ点における前記試料の高さに関連するデータから前記構造特徴の位置を決定する工程と、前記構造特徴の予測される空間的な配置関係とその構造特徴の位置から、前記構造特徴の少なくとも一つの寸法を決定するのに足りる、複数の関連するデータ点の数と位置を決める工程と、各関連するデータ点において、前記試料の高さに関連するデータを分析する工程と、各関連するデータ点における前記試料の高さに関連するデータの値から前記構造特徴の前記寸法を決定する工程とからなる方法。

IPC (6件)：

G01B21/02 , G01B5/004 , G01B21/04 , G01B21/30 , G01N13/10 , H01L21/66

FI (7件)：

G01B21/02 A , G01B21/04 , G01B21/30 , G01N13/10 A , G01N13/10 E , H01L21/66 J , G01B5/03

Fターム (47件)：

2F062AA01 , 2F062AA03 , 2F062AA21 , 2F062AA26 , 2F062AA41 , 2F062AA42 , 2F062AA71 , 2F062BC25 , 2F062CC27 , 2F062EE01 , 2F062EE62 , 2F062GG41 , 2F062HH00 , 2F062JJ00 , 2F062JJ04 , 2F062JJ05 , 2F062JJ07 , 2F062JJ08 , 2F062MM02 , 2F069AA03 , 2F069AA06 , 2F069AA42 , 2F069AA43 , 2F069AA49 , 2F069AA62 , 2F069AA77 , 2F069BB15 , 2F069DD01 , 2F069DD15 , 2F069GG01 , 2F069GG02 , 2F069GG04 , 2F069GG39 , 2F069GG52 , 2F069GG56 , 2F069HH02 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069JJ22 , 2F069LL03 , 2F069LL13 , 2F069NN17 , 4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA39 , 4M106CA48 , 4M106DB18

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5307693号
米国特許第5756887号

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