特許

J-GLOBAL ID：200903003551291868

被覆部材

発明者： 三上 一彦 ,  会田 比呂史
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-139836
公開番号（公開出願番号）：特開平8-003747
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：

【要約】【目的】基体表面に被覆した炭化珪素膜の残留応力が低く、製造時、あるいは稼働時においてもクラック等が発生せず、超平滑面が再現性良く安定して得られ、長期信頼性に優れる。【構成】基体表面に被覆した炭化珪素膜の研磨面が、粒子径が3μm 以上の結晶で膜表面積の20%以上を占め、かつ炭化珪素膜の残留応力が、40kg/mm2 以下であること。

請求項（抜粋）：

基体表面に被覆した炭化珪素膜を表面研磨して成る被覆部材において、炭化珪素膜の研磨面に3μm 以上の粒子径を有する結晶が、膜表面積の20%以上を占め、かつ炭化珪素膜の残留応力が40kg/mm2 以下であることを特徴とする被覆部材。

IPC (2件)：

C23C 16/32 ,  C23C 14/06

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-126671
  
• 特開平4-358068
  
• 特開昭59-099401
  

審査官引用 (4件)

• 特開平4-358068
  
• 特開平4-358068
  
• 特開昭59-099401
  
• 特開昭59-099401