特許
J-GLOBAL ID:200903003561270460
超高周波圧電デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-207495
公開番号(公開出願番号):特開2000-040938
出願日: 1998年07月23日
公開日(公表日): 2000年02月08日
要約:
【要約】【課題】 超高周波圧電デバイスの主振動の近傍に生ずるスプリアス振動を抑圧する手段を得る。【解決手段】 ATカット水晶板にエッチング等を用いて凹陥部を形成し、該凹陥部の底面を振動部として対向する一対の電極を付着した超高周波圧電振動子で、前記振動部に励起される主振動(S0モード)と多数のスプリアス振動のうち主振動の変位が十分小さく、第1次対称モード(S1モード)の変位が比較的大きな位置に前記段差部を配置する。
請求項(抜粋):
薄肉の振動部と該振動部の周縁を包囲する厚肉の環状部とを圧電基板にて一体的に形成し、前記振動部の表面に互いに対向する一対の電極を設けた超高周波圧電振動子において、前記振動部に励起される主振動たるS0モードの変位が小さく、第1次対称モード振動たるS1モードの変位が主振動のそれに比べて大きくなる位置に前記振動部と前記環状部との境界となる段差部を配置するように構成したことを特徴とする超高周波圧電デバイス。
IPC (2件):
FI (2件):
H03H 9/19 D
, H03H 9/56 B
Fターム (7件):
5J033AA01
, 5J033BB02
, 5J033CC04
, 5J033CC11
, 5J033CC12
, 5J033DD02
, 5J033FF11
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