特許
J-GLOBAL ID：200903003566398472
スクラッチ機構を有する原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-088851
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287815
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、スクラッチ機構を有する原子間力顕微鏡に関し、特にスクラッチ付与探針と観察用探針を独立してカンチレバーに設け、スクラッチ付与による探針のコンタミおよび損耗を防止して測定データの精度向上を可能とするスクラッチ機構を有する原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】 原子間力顕微鏡のカンチレバーに2つの探針を近接して設け、カンチレバーを傾斜させ先端側の1つの探針を傾斜させた状態で試料表面を移動させることによって、前記探針で試料表面にスクラッチを付した後、カンチレバーを水平位置にもどして他の一つの探針で、当該スクラッチを付した箇所を観察できるようになすことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡のカンチレバーに2つの探針を近接して設け、カンチレバーを傾斜させ先端側の1つの探針を傾斜させた状態で試料表面を移動させることによって、該探針で試料表面にスクラッチを付与した後、カンチレバーを水平位置に戻して他の一つの探針で、当該スクラッチを付した箇所を観察できるようになすことを特徴とするスクラッチ機構を有する原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
