特許
J-GLOBAL ID：200903003569365613
大気圧昇温ガス脱離装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229894
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083808
出願日： 1993年09月16日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 固体試料(半導体ウエーハ、光ディスク等)の表面に吸着・吸蔵している不純物の定量分析を行うことが可能な大気圧昇温ガス脱離装置を提供する。【構成】 チャンバー6内で平体状の固体試料18を昇温し、この固体試料18の表面に吸着・吸蔵している不純物をキャリアガス19中に大気圧下において脱離させる大気圧昇温ガス脱離装置であって、チャンバー6内に配置され、キャリアガス19を供給する第1ガス供給系1が連結され、キャリアガス19に固体試料18の表面に吸着・吸蔵している不純物を脱離させる脱離室7Aと、前記チャンバー6内に配置され、仕切部材6A及びこの仕切部材6Aに密着された固体試料18によって前記脱離室7Aから分離される搬送支持室7Bと、前記仕切部材6Aに密着された固体試料18を加熱する加熱器8と、前記搬送支持室7Bに連結され、パージガス20を供給する第2ガス供給系13が連結された予備室9とを備える。
請求項（抜粋）：
チャンバー内で平板状の固体試料を昇温し、この固体試料の表面に吸着・吸蔵している不純物をキャリアガス中に大気圧下で脱離させる大気圧昇温ガス脱離装置であって、前記チャンバー内に配置され、キャリアガスを供給する第1ガス供給系が配管を介して連結され、この第1ガス供給系から供給されたキャリアガスに固体試料の表面に吸着・吸蔵している不純物を脱離させる脱離室と、前記チャンバー内に配置され、仕切部材及びこの仕切部材に密着された固体試料によって前記脱離室から分離され、前記仕切部材に密着させる固体試料を搬送し支持する搬送支持台が配置された搬送支持室と、前記仕切部材に密着された固体試料を加熱する加熱器と、前記搬送支持室に連結され、かつパージガスを供給する第2ガス供給系が供給管を介して連結され、前記搬送支持室に供給する固体試料を待機させる予備室とを備えたことを特徴とする大気圧昇温ガス脱離装置。
IPC (4件)：
G01N 1/02
, G01N 1/28
, H01L 21/324
, H01L 21/66
