特許
J-GLOBAL ID：200903003573410917

熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液

発明者：
谷口 雅治

谷口 雅治 について

, 
丹羽 勝弘

丹羽 勝弘 について

, 
後藤 哲哉

後藤 哲哉 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-158042
公開番号（公開出願番号）：特開平9-013081
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：
【要約】【構成】アルキレングルコール系アルキルエーテルアセテートとアルキレングルコール系モノアルキルエーテルを含有する熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液である。【効果】本発明の熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液はカラーフィルター作製におけるスピンナーでの保護膜形成塗布工程において、基板端部、基板裏面の自動洗浄、スピンナーカップ内自己洗浄、また塗液供給ラインの洗浄を同様洗浄液でプロセス適性良く実施することができ、さらにはアクリル樹脂やポリシロキサン樹脂、ポリイミドシロキサン樹脂等を併用する際の共通洗浄剤となるものである。
請求項（抜粋）：
下記一般式(A)で示されるアルキレングルコール系アルキルエーテルアセテートおよび下記一般式(B)で示されるアルキレングルコール系モノアルキルエーテルを含有することを特徴とする熱硬化性樹脂溶液塗布工程用洗浄液。R1 O[R2 O]n COCH3 (A)R3 O[R4 O]m H (B)(ここでR1 、R3 は炭素数1〜5個のアルキル基であり、R2 、R4 は炭素数2〜5個のアルキレン基であり、n,mは1〜3個の整数である。)
IPC (3件)：
C11D 7/26 ,  B05D 1/40 ,  B05D 7/24 302
FI (3件)：
C11D 7/26 ,  B05D 1/40 A ,  B05D 7/24 302 P
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM