特許
J-GLOBAL ID：200903003575581824
分子ポンプおよび結合装置
出願人/特許権者：
BOCエドワーズ株式会社
BOCエドワーズ株式会社 について
代理人 (2件)： 川井 隆 , 仲野 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-303526
公開番号（公開出願番号）：特開2005-069194
出願日： 2003年08月27日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 簡単な構成で異常時に発生するトルクによる衝撃エネルギーを効果的に消費することができる結合装置および分子ポンプを提供すること。 【解決手段】 分子ポンプの全体をロータ部の回転方向に回転させようとするトルクによる衝撃が発生すると、フランジ11が真空容器2に対してロータ部の回転方向に回転する。ボルト41はボルト穴211で固定されているため、ロータ部が回転すると、フランジ11は長穴113に沿ってロータ部の回転方向に移動する。フランジ11に固定されているボルト42も移動する。すると、ボルト42に固定されている第1緩衝部材31および第2緩衝部材32は、ロータ部の回転方向に引っ張られ塑性変形する。第1緩衝部材31および第2緩衝部材32が塑性変形する過程において、分子ポンプ1を回転させるエネルギーが第1緩衝部材31および第2緩衝部材32で消費され衝撃が緩和される。 【選択図】 図5
請求項１：
真空容器に取り付けられ、この真空容器内の気体の排気処理を行う分子ポンプであって、
吸気口と排気口を備えたケーシングと、
前記ケーシング内に回転自在に軸支され、前記吸気口から前記排気口へ気体を移送する気体移送機構が設けられたロータと、
前記ロータを回転させるモータと、
前記ケーシングの端部、もしくは、その対向部に形成され、その厚さ方向に貫通した締結穴と、前記締結穴から前記ロータの回転方向と逆方向に延びた長穴と、が形成されたフランジ状の取付部と、
緩衝部と、前記緩衝部の一端に設けられ、締結穴を有する第1固定部と、前記緩衝部の他端に形成された第2固定部と、を有する緩衝部材と、
前記取付部の前記締結穴と、前記緩衝部材の締結穴とを介して、前記緩衝部材および前記ケーシングを締結する締結手段と、
前記緩衝部材の前記第2固定部を前記取付部に固定する固定手段と、
を備えたことを特徴とする分子ポンプ。
IPC (3件)：
FI (4件)：
Fターム (18件)：
3H031DA02
, 3H031EA09
, 3H031FA37
, 3H031FA39
, 3H034AA01
, 3H034AA12
, 3H034BB01
, 3H034BB08
, 3H034BB16
, 3H034CC03
, 3H034CC07
, 3H034DD20
, 3H034DD26
, 3H034DD28
, 3H034DD30
, 3H034EE14
, 3H034EE15
, 3H034EE17
引用特許：
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