特許

J-GLOBAL ID：200903003580090316

硬質カーボン被膜、および該被膜に被覆された部材

発明者： 永田 徳久 ,  永山 利枝 ,  松山 秀昭
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-085784
公開番号（公開出願番号）：特開2002-285328
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 DLCを越える硬度を有し、かつ耐摺動性および耐摩耗性に優れた硬質カーボン皮膜、その硬質カーボン被膜により被覆された部材、および保護膜としてその硬質カーボン被膜を有する磁気記録媒体の提供。【解決手段】 フィルタード・カソーディック・アーク法により形成されたアモルファス状のカーボンのみから成る硬質カーボン被膜であって、カーボンのsp3-C比をxとした際に、xは0.5以上1未満であり、および硬質カーボンの硬度y(GPa)は、99x-5≦y≦99x+11の関係を満たすことを特徴とする硬質カーボン被膜。

請求項（抜粋）：

フィルタード・カソーディック・アーク法により形成されたアモルファス状のカーボンのみから成る硬質カーボン被膜であって、前記カーボンのsp3-C比をxとした際に、xは0.5以上1未満であり、および前記硬質カーボンの硬度y(GPa)は、99x-5≦y≦99x+11の関係を満たすことを特徴とする硬質カーボン被膜。

IPC (4件)：

C23C 14/32 ,  C23C 14/06 ,  B21D 37/20 ,  B23B 27/14

FI (4件)：

C23C 14/32 F ,  C23C 14/06 F ,  B21D 37/20 Z ,  B23B 27/14 A

Fターム (15件)：

3C046FF12 ,  3C046HH08 ,  4E050JA03 ,  4E050JA08 ,  4E050JB06 ,  4E050JC02 ,  4E050JD03 ,  4K029AA04 ,  4K029BA34 ,  4K029BB10 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029DD06