特許
J-GLOBAL ID：200903003581243337
接触型熱移動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
景山 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182767
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029080
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 対象物を均一に加熱でき、大サイズのウェハー等にも対応できるようにする。【構成】 ウェハー1が接触する加熱/冷却面2と、その裏面3を含み密閉された空間部4と、この中に入れられた作動液及びその飽和蒸気と、作動液を加熱する加熱器5と、飽和蒸気を冷却する冷却ファン6と、加熱/冷却面2に導通するバキュームチャンバ7と、この中の空気を吸引する真空ポンプ9と、を有する。又、制御駆動系を有する。【効果】 熱移動量が大きいので装置を小型化でき、温度応答性が高くなる。ウェハー等の発熱が不均一でも、均一温度に維持できる。装置を小型低コスト化できる。
請求項（抜粋）：
熱移動を受ける物体が接触する接触面と、該接触面の裏面を含み密閉された空間部と、該空間部に入れられた熱媒体液及びその飽和気体と、前記熱媒体液を加熱する加熱手段と、前記飽和気体を冷却する冷却手段と、を有することを特徴とする接触型熱移動装置。
引用特許：
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