特許
J-GLOBAL ID：200903003581426890
透過型X線ターゲット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
喜多 俊文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-159784
公開番号（公開出願番号）：特開2002-352754
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：
【要約】【課題】 薄い試料やX線吸収が少ない試料や微小試料について、コントラストのある鮮明なX線画像を得ることができる透過型X線ターゲットを提供する。【解決手段】 集束された電子ビーム1が、トリウムがドーブされたタングステン又はタングステンレニウム合金からなるCVD法で製作された蒸着ターゲット6に衝突する。X線透過窓基材としてセラミックのセラミック基材5あるいはガラス基材が用いられており、蒸着ターゲット6で発生したX線4は軟X線成分を減弱することなくセラミック基材5を透過する。また、蒸着ターゲット6で発生した熱はセラミック基材5から周辺に放散され、タングステン表面はトリウムの拡散によってあれることがなくX線放射効率の低下を低減することができる。
請求項１：
陰極のフィラメントから放出された電子を加速収束させて陽極側のX線透過窓基材上に設けられたターゲット金属に衝突させ、透過方向にX線を発生させるX線管の透過型X線ターゲットにおいて、前記X線透過窓基材にセラミックまたはガラスを用い、そのX線透過窓基材の内面に前記ターゲット金属を蒸着したことを特徴とする透過型X線ターゲット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 35/08 F
, G21K 5/08 X
