周期可動物の速度測定装置及び変位測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-357443
公開番号（公開出願番号）：特開2006-162523
出願日： 2004年12月09日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】短い測定時間、高い空間分解能で、被測定面の変形量が大きい場合でも、鏡面可動物の変位速度分布及び変位量分布を取得する周期可動物の速度測定装置及び変位測定装置を提供する。【解決手段】略周期運動する被測定物にパルス光を照射するための光源2と、被測定物1の変位と光源2によるパルス光の発光とのタイミングを調整するタイミング調整手段12と、被測定物1からの反射光と参照光とを干渉させるための干渉光学系6と、干渉光学系6による干渉縞を撮像するための撮像手段8と、撮像手段8による干渉縞画像から干渉縞のコントラストを検出し、干渉縞のコントラストと被測定物1の面の略法線方向への変位速度との相関関係から被測定物1の面の略法線方向への変位速度を求める演算器11を備えるようにした。【選択図】図1

請求項１：

略周期運動する被測定物にパルス光を照射するための光源と、前記被測定物の変位と前記光源によるパルス光の発光とのタイミングを調整するタイミング調整手段と、前記被測定物からの反射光と参照光とを干渉させるための干渉光学系と、前記干渉光学系による干渉縞を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段による干渉縞画像から干渉縞のコントラストを検出し、前記干渉縞のコントラストと前記被測定物の面の略法線方向への変位速度との相関関係から前記被測定物の面の略法線方向への変位速度を求める演算手段と、を備えることを特徴とする周期可動物の速度測定装置。

IPC (2件)：

G01P 3/36 , G01B 11/00

FI (2件)：

G01P3/36 E , G01B11/00 G

Fターム (33件)：

2F065AA06 , 2F065AA09 , 2F065AA20 , 2F065BB01 , 2F065BB15 , 2F065BB25 , 2F065CC21 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065DD09 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF52 , 2F065GG06 , 2F065GG08 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL09 , 2F065LL12 , 2F065LL25 , 2F065LL46 , 2F065NN03 , 2F065NN12 , 2F065NN20 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ29

引用特許：

出願人引用 (4件)

特許第2807782号
特許第2592254号
特許第3353365号

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