反射防止膜が被覆された物品およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大野精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-077378
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264509
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】基体表面の反射率を低減する反射防止膜は、蒸着法等の方法により高屈折率の膜と低屈折率の膜を2層以上積層して被覆される。この方法は、高価な蒸着設備を必要とし、また複数の層を厚みの精度を厳密に制御して被覆しなければならないので、経済的に反射防止膜を被覆するのに不利であった。また、基体を加熱する必要があり、樹脂などの熱的に弱い基体には被覆することはできなかった。【解決手段】チタンフッ化アンモニウムを含みチタン酸化物の過飽和溶液とした第1の処理液と、珪ッ化アンモニウムを含み二酸化珪素の過飽和溶液とした第2の処理液を適当な比率で混合し、第1の処理液のチタンと第2の処理液の珪素の析出速度差を利用して、厚み方向に組成勾配を有するようにする。析出速度の差は、チタンと選択的にキレート化合物を形成するEDTAキレート化剤を処理液に添加することにより行う。反射防止膜の厚みは20〜150nmがよい。

請求項（抜粋）：

基体の少なくとも片側表面に反射防止膜が被覆された物品であって、前記反射防止膜は、前記基体表面から厚み方向外側にいくに従い低くなる屈折率傾斜を有し、かつ前記基体との界面における屈折率が前記基体の屈折率よりも高いことを特徴とする物品。

IPC (5件)：

G02B 1/11 , B32B 7/02 103 , C03C 17/25 , C03C 17/34 , G09F 9/00 313

FI (5件)：

B32B 7/02 103 , C03C 17/25 A , C03C 17/34 Z , G09F 9/00 313 , G02B 1/10 A

Fターム (44件)：

2K009AA04 , 2K009AA05 , 2K009BB02 , 2K009BB14 , 2K009BB24 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009DD02 , 2K009FF01 , 4F100AA20B , 4F100AA20C , 4F100AA21B , 4F100AA34B , 4F100AG00 , 4F100AT00 , 4F100AT00A , 4F100BA03 , 4F100BA07 , 4F100BA10C , 4F100BA26 , 4F100BA42B , 4F100BA44B , 4F100GB41 , 4F100JN06 , 4F100JN06B , 4F100JN18 , 4F100JN18B , 4F100JN18C , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4G059AA01 , 4G059AA11 , 4G059AB01 , 4G059AC04 , 4G059EA04 , 4G059EA05 , 4G059EB05 , 5G435AA01 , 5G435AA04 , 5G435AA17 , 5G435FF02 , 5G435HH02 , 5G435HH03 , 5G435KK07

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