光検出素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-318486
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150253
出願日： 1997年11月19日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】小型で、光軸ずれによる誤差のない光追尾センサを構成することができる光検出素子を提供する。【解決手段】光検出素子10は、デバイス生成面12aの中央部に4分割フォトダイオード14が形成されるとともにその周囲にフォトダイオードアレイ16が形成されている半導体基板12と、半導体基板12と外部とを電気的に接続する配線基板18とから主に構成され、半導体基板12は、デバイス生成面12aが配線基板18に対向するように、バンプ20によって配線基板18に電気的かつ機械的に接続されている。配線基板18上には、プリアンプ及び信号選択回路を有する信号処理回路24が構成されている。

請求項（抜粋）：

第1の主面の中央部に、4つのフォトダイオードを配列してなる4分割フォトダイオードが形成されていると共に、前記第1の主面上であって前記4分割フォトダイオードの周囲に、複数のフォトダイオードを配列してなるフォトダイオードアレイが形成されている半導体基板と、前記半導体基板と外部とを電気的に接続する配線基板と、を備え、少なくとも前記4分割フォトダイオードを構成する各フォトダイオードは、それぞれバンプ接続によって前記配線基板に接続されている、ことを特徴とする光検出素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 , G01B 11/00 , H01L 31/02 , H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 D , G01B 11/00 E , H04N 5/335 Z , H01L 31/02 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特表平7-504279
特開平2-159760
空間光伝送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-216716 出願人：日本電気株式会社

全件表示

前のページに戻る