回転角速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289530
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139323
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】第1及び第2の層10,21を備えた多層式センサを有する回転角速度センサを改良して、第1の振動方向で大きな変向を行なうことができ、同時に妨害信号を惹起する横変向を著しく排除する。【解決手段】第1の層が、主平面を有する単結晶シリコンのほぼ平らな支持体10であって、前記主平面の部分にチャージキャリア拡散11が形成されており、第2の層21が、ポリシリコンより成っていて、少なくとも1つの構造体部材30を有していて、該構造体部材30が、振動体として作動し、前記平らな支持体10の主平面に対して平行に向けられた少なくとも第1の方向1で振動運動するようになっており、前記チャージキャリア拡散11と前記振動体とが、前記支持体10の主平面に対して垂直な方向で、前記振動体30の測定運動を行う、コンデンサの各プレートを形成している。

請求項（抜粋）：

第1及び第2の層(10,21)を備えた多層式センサを有する回転角速度センサであって、第1の層が、主平面を有する単結晶シリコンのほぼ平らな支持体(10)であって、前記主平面の部分にチャージキャリア拡散(11)が形成されており、第2の層(21)が、ポリシリコンより成っていて、少なくとも1つの構造体部材(30)を有していて、該構造体部材(30)が、振動体として作動し、前記平らな支持体(10)の主平面に対して平行に向けられた少なくとも第1の方向(1)で振動運動するようになっており、前記チャージキャリア拡散(11)と前記振動体とが、前記支持体(10)の主平面に対して垂直な方向で、前記振動体(30)の測定運動を行う、コンデンサの各プレートを形成している、ことを特徴とする、回転角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105AA02 , 2F105BB02 , 2F105BB03 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (18件)

特開昭60-113105
特開昭61-100627
特開昭61-139719

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