特許

J-GLOBAL ID：200903003586974550

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 篠田 健一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-172158
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354424
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 被照射面を照明光束の有効利用を図りつつ、均一に照明することができ、半導体デバイスの製造に好適な照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【解決手段】 光源からの光束を第1のオプティカルロッドの光入射面に入射させ、該第1のオプティカルロッドの光射出面からの光束をリレー光学系によって第2のオプティカルロッドの光入射面に入射させ、該第2のオプティカルロッドの光射出面からの光束をオプティカルインテグレータに導光し、該オプティカルインテグレータの出射面側に複数の2次光源像を形成し、該複数の2次光源像からの各光束で光学系を介して被照射面上を重ねて照明していること。

請求項（抜粋）：

光源からの光束を第1のオプティカルロッドの光入射面に入射させ、該第1のオプティカルロッドの光射出面からの光束をリレー光学系によって第2のオプティカルロッドの光入射面に入射させ、該第2のオプティカルロッドの光射出面からの光束をオプティカルインテグレータに導光し、該オプティカルインテグレータの出射面側に複数の2次光源像を形成し、該複数の2次光源像からの各光束で光学系を介して被照射面上を重ねて照明していることを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 3/00

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 3/00 A