特許
J-GLOBAL ID：200903003588097409
ビーム重ね合わせ装置及びレーザ加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-190531
公開番号（公開出願番号）：特開2007-007683
出願日： 2005年06月29日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】 複数のレーザビームを部分的に重ね合わせるビーム重ね合わせ光学装置において、重ね合う部分をより大きくする。【解決手段】 中心光線が相互に平行な複数のレーザビームが、拡がり角拡大光学系に入射する。拡がり角拡大光学系は、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を大きくして出射させ、出射するレーザビームの中心光線を相互に平行に保ち、かつ出射するレーザビームの中心光線の間隔を、入射したレーザビームの中心光線の間隔よりも狭くすることにより、レーザビーム同士を部分的に重ね合わせる。拡がり角拡大光学系によって部分的に重ね合わされたレーザビームが、拡がり角縮小光学系に入射する。拡がり角縮小光学系は、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を小さくして出射させ、かつ出射するレーザビームが部分的に重ね合わされた状態で、これらの中心光線を相互に平行に保つ。【選択図】 図3
請求項１：
中心光線が相互に平行な複数のレーザビームが入射し、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を大きくして出射させ、出射するレーザビームの中心光線を相互に平行に保ち、かつ出射するレーザビームの中心光線の間隔を、入射したレーザビームの中心光線の間隔よりも狭くすることにより、レーザビーム同士を部分的に重ね合わせる拡がり角拡大光学系と、
前記拡がり角拡大光学系によって部分的に重ね合わされたレーザビームが入射し、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を小さくして出射させ、かつ出射するレーザビームが部分的に重ね合わされた状態で、これらの中心光線を相互に平行に保つ拡がり角縮小光学系と
を有するビーム重ね合わせ光学装置。
IPC (3件)：
B23K 26/06
, B23K 26/073
, G02B 13/00
B23K26/06 A
, B23K26/06 Z
, B23K26/073
, G02B13/00
2H087KA26
, 2H087LA26
, 2H087PA02
, 2H087PA03
, 2H087PA17
, 2H087PB02
, 2H087PB03
, 2H087QA02
, 2H087QA07
, 2H087QA14
, 2H087QA21
, 2H087QA34
, 2H087QA41
, 4E068CA02
, 4E068CB08
, 4E068CD02
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068CD13
, 4E068CE08
