特許

J-GLOBAL ID：200903003591853109

金属用研磨組成物の製造方法

発明者： 宮崎 久遠 ,  高橋 秀明
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-092404
公開番号（公開出願番号）：特開2003-289054
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】 エッチング性が低いレベルに制御され、同時にスクラッチやエロージョン等の被研磨面の欠陥発生も抑制することのできる金属用研磨組成物の製造方法の提供。【解決手段】 ポリオキソ酸および/またはその塩(A)と非イオン系界面活性剤(B)とを必須成分とする金属用研磨組成物の製造方法において、(A)と(B)とを混合する際に、加温しながら攪拌することを特徴とする金属用研磨組成物の製造方法。

請求項（抜粋）：

ポリオキソ酸および/またはその塩(A)と非イオン系界面活性剤(B)とを必須成分とする金属用研磨組成物の製造方法において、(A)と(B)とを混合する際に、加温しながら攪拌することを特徴とする金属用研磨組成物の製造方法。

IPC (6件)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  C09K 13/04 ,  C09K 13/04 101 ,  H01L 21/308

FI (6件)：

H01L 21/304 622 D ,  H01L 21/304 622 X ,  B24B 37/00 H ,  C09K 13/04 ,  C09K 13/04 101 ,  H01L 21/308 F

Fターム (10件)：

3C058AA07 ,  3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  5F043AA23 ,  5F043BB15 ,  5F043DD10 ,  5F043EE40 ,  5F043GG10