特許

J-GLOBAL ID：200903003593930089

カラーフィルタの製造および修復のための装置およびプロセス

発明者： デュナン,アラン
出願人/特許権者： トゾット サイエンス アンド アプリケーションズ
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-520425
公開番号（公開出願番号）：特表平9-511585
出願日： 1995年02月03日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】この発明は、カラーブロックのレギュラーネットワークが蒸着された基板からカラーフィルタを製造および修復するための装置であって、基板を支持する安定したテーブル(23)と、インク回路により供給される1以上のノズルを有する高分解能の連続インクジェットを用いた印刷ヘッド(25)と、その印刷ヘッド(25)に対して基板(24)を相対移動させる機械的なモータ駆動の移動装置(28)と、レーザ干渉計あるいは光学的エンコーダによりテーブル(23)の位置を計測する計測装置と、顕微鏡を有するインク液滴の位置決めシステム(34)と、装置全体の検査と制御を行うシステムとを具備することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

光学的効果によって色の調整に寄与するカラーブロックのレギュラーネットワーク(regular network)が蒸着された基板からカラーフィルタを製造、修復するための装置であって、 前記基板が載置される機械的に安定したテーブル(23)と、 1以上のインク出射ノズルを有する複数の印刷モジュール(26)を具備する高分解能の連続式インクジェット印刷ヘッド(25)と、 該印刷ヘッド(25)にインクを供給する少なくとも1つのインク供給回路(27)と、 前記印刷ヘッド(25)に対して前記基板(24)を高精度で相対移動させる機械的なモータ駆動の移動装置(28)と、 相互に垂直でしかも前記印刷ヘッド(25)によって出射される液滴の方向(Z)に実質的に垂直な2方向(X,Y)に前記テーブルの位置を計測する計測装置(300)と、 前記印刷ヘッドに対して2方向(X,Y)に固定配置され、かつ、前記基板上の光学的マークに対する前記印刷ヘッドにより出射される液滴のインパクトを位置決めする顕微鏡を有する位置決めシステム(34)と、 前記装置の各部材に接続され装置全部をチェックしかつ制御する制御システム(35)とを具備することを特徴とする装置。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505