特許

J-GLOBAL ID：200903003601799027

ウェハ検査装置

発明者： 簑和 恭子 ,  武田 一男 ,  大倉 理 ,  松田 安司 ,  前嶋 宗郎 ,  松井 繁
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-163205
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354598
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】ウェハ内部の欠陥を検出する装置において、欠陥を検出した後、任意の位置にある欠陥を同定するためのTEM観察試料の作製を迅速かつ容易にする。【解決手段】レーザー光を照射してウェハの光散乱体からの散乱光を検出することによって欠陥の位置およびサイズを測定できるウェハ検査装置において、欠陥を検出した後にウェハ内の任意の位置にある欠陥に対して適当な位置にマークを施し、さらに、欠陥とマークとの相対距離を測定できる機能を備える。

請求項（抜粋）：

ウェハの光散乱体の位置を検出する装置において、ウェハ表面にマークを施す系と、光散乱体と上記マークとの相対距離を測定する測定系とを備えたことを特徴とするウェハ検査装置。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (4件)：

H01L 21/66 J ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/30 H ,  G01N 21/88 E