半導体圧力センサ用の圧力検出回路

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085700
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288621
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】半導体圧力センサの零点出力電圧の温度依存性を補償することを目的とする。【構成】この発明では、半導体圧力センサの信号処理回路中の差動増幅回路を構成する2個のトランジスタに流れる各々のエミッタ電流に、圧力検出部であるブリッジ回路の零点出力電圧の温度依存性に応じて差を持たせ、2個のトランジスタのベース-エミッタ間の電圧に差ができるようにし、この電圧差の温度依存性を利用してブリッジ回路の零点出力電圧の温度依存性を補償する。

請求項（抜粋）：

半導体圧力センサの半導体センサチップに形成される温度補償機能を有する圧力検出回路であって、4つのゲージ抵抗がブリッジ回路状に接続されてなり、このブリッジ回路の対角位置にある端子間に、受けた圧力に応じて電圧差を発生する圧力検出手段と、1対のトランジスタを含み上記ブリッジ回路の一方の端子が接続される差動増幅部、この差動増幅部の2個のトランジスタのエミッタ電流を調節して2個のトランジスタのベース-エミッタ間電圧に電圧差を発生させて上記差動増幅部に入力オフセット電圧を発生させる、上記2個のトランジスタのコレクタにそれぞれ接続された差動バイアス電流調節部、および上記差動増幅部を介して得られた上記圧力検出手段で発生された電圧差を増幅する電力増幅部を設けた信号処理手段と、を備え、上記差動増幅部で発生される入力オフセット電圧の温度依存性により、圧力検出手段の零点出力電圧の温度依存性を補償する半導体圧力センサ用の圧力検出回路。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 9/00 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-177566
特開平3-083419
特開平3-044216

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