特許

J-GLOBAL ID：200903003605810785

金属上で酸化物を選択的にエッチングするための新規な組成物

発明者： ホンダ・ケンジ ,  ミッチェル・エルダーキン
出願人/特許権者： アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-532262
公開番号（公開出願番号）：特表2003-512741
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2003年04月02日
要約：

【要約】金属上で酸化物を選択的にエッチングするための組成物。組成物は、水、ヒドロキシルアンモニウム塩、カルボン酸、フッ素含有化合物および場合により塩基を含む。組成物のpHは約2〜6である。

請求項（抜粋）：

(a)水; (b)ヒドロキシルアンモニウム塩; (c)カルボン酸; (d)フッ素含有化合物;および (e)場合により塩基からなる、金属上で酸化物を選択的にエッチングするための組成物。

IPC (5件)：

H01L 21/308 ,  C09K 11/08 ,  C23G 1/06 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 647

FI (5件)：

H01L 21/308 E ,  C09K 11/08 ,  C23G 1/06 ,  H01L 21/304 622 Q ,  H01L 21/304 647 A

Fターム (27件)：

4H001CA04 ,  4H001XA08 ,  4H001XA29 ,  4K053PA06 ,  4K053PA17 ,  4K053QA01 ,  4K053QA07 ,  4K053RA17 ,  4K053RA21 ,  4K053RA25 ,  4K053RA26 ,  4K053RA40 ,  4K053RA45 ,  4K053RA46 ,  4K053RA47 ,  4K053RA51 ,  4K053RA52 ,  4K053RA54 ,  4K053RA59 ,  4K053RA63 ,  4K053SA03 ,  4K053SA04 ,  4K053SA06 ,  4K053YA03 ,  5F043AA40 ,  5F043BB30 ,  5F043GG10