特許

J-GLOBAL ID：200903003614264408

TYPE1の非線形結晶を用いた加工用レーザ装置

発明者： 出来 恭一
出願人/特許権者： 株式会社ウシオ総合技術研究所
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195531
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021931
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 非線形光学結晶を用いて波長変換したレーザ光を出射する加工用レーザ装置においてレーザ光の出力パワーの変動を小さくすること。【解決手段】 基本波レーザ光源11から出射される基本波が2倍波発生用の第1の非線形光学結晶13に入射し、非線形光学結晶13はその2倍波と基本波とを発生する。非線形光学結晶13から出射する基本波と2倍波は波長板20に入射する。波長板20は基本波の偏光方向を90°回転させ、基本波と2倍波の偏光方向を平行とする。波長板20から出射する偏光方向が平行な2倍波と基本波は、TYPE1の第2の非線形光学結晶13’に入射して波長変換され3倍波と基本波とが出射する。TYPE1の結晶はTYPE2の結晶より温度許容幅が大きいので、TYPE1の結晶のみを使用することにより、結晶に多少の温度変化が生じてもレーザ光の出力パワーの変動を小さくすることができる。

請求項（抜粋）：

非線形光学結晶により波長変換を行ない、紫外線レーザ光を発生するレーザ装置であって、基本波レーザ光を発振するレーザ発振器と、上記レーザ発振器からの基本波レーザ光を入射して、その2倍波を出射する第1のTYPE1の非線形光学結晶と、上記基本波レーザ光と上記2倍波の偏光方向を互いに平行とする波長板と、上記波長板を通過した、上記基本波レーザ光と上記2倍波とを入射して、基本波レーザ光の3倍波を出射する第2のTYPE1のLBO結晶とを備えたことを特徴とする加工用レーザ装置。

IPC (3件)：

G02F 1/37 ,  B23K 26/06 ,  H01S 3/16

FI (3件)：

G02F 1/37 ,  B23K 26/06 E ,  H01S 3/16

Fターム (23件)：

2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002CA02 ,  2K002HA20 ,  4E068AF00 ,  4E068CA04 ,  4E068CB10 ,  4E068CD08 ,  4E068DA11 ,  5F072AB02 ,  5F072AB15 ,  5F072FF09 ,  5F072HH07 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072QQ02 ,  5F072QQ04 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072TT05 ,  5F072TT12 ,  5F072YY06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光高調波発生器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-344363   出願人：浜松ホトニクス株式会社