真空STM用走査型電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：蛭川昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078247
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275585
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 1つの電子銃によりSEM像、RHEED像も観察することができる真空STM用装置型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】真空容器内に走査トンネル顕微鏡および走査電子顕微鏡が配置された装置において、試料に低い角度で電子ビームを照射させる偏向器と、試料からの反射電子を検出する検出器とを備え、前記走査電子顕微鏡の電子銃からの電子ビームを前記偏向器に入射させて試料に照射し、試料からの反射電子を前記検出器で検出して反射電子線回折像を観察可能にしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空容器内に走査トンネル顕微鏡および走査電子顕微鏡が配置された装置において、試料に低い角度で電子ビームを照射させる偏向器と、試料からの反射電子を検出する検出器とを備え、前記走査電子顕微鏡の電子銃からの電子ビームを前記偏向器に入射させて試料に照射し、試料からの反射電子を前記検出器で検出して反射電子線回折像を観察可能にしたことを特徴とする真空STM用走査型電子顕微鏡。

IPC (5件)：

H01J 37/295 , G01N 23/20 , G01N 37/00 , H01J 37/26 , H01J 37/28

FI (6件)：

H01J 37/295 , G01N 23/20 , G01N 37/00 B , H01J 37/26 , H01J 37/28 X , H01J 37/28 B

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