特許
J-GLOBAL ID：200903003626833661
レーザ発振器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
神崎 真一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-169631
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004584
出願日： 2006年06月20日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【解決手段】 レーザ発振器1を構成する放電管2は、同一径で製造されたチューブ33と、陽極31および陰極32からなる放電電極4を対向させて保持すると共に、上記チューブ33を連結するホルダ34とを備え、上記ホルダ34には対向する陽極31および陰極32に向けて傾斜する板状のリング状突起35、36が形成されている。 上記リング状突起35、36により、陽極31および陰極32による放電を軸心側に絞ることができ、またレーザガスの流通する方向に対して傾斜するリング状突起36により、放電管21内で発生したパーティクルを回収することができる。【効果】 製造コストの安価なレーザ発振器を得ることができる。【選択図】 図4
請求項１：
内部をレーザガスが流通する放電管と、該放電管に軸方向に離隔して対向するように設けられた陽極および陰極からなる放電電極とを備え、上記放電電極間で放電してレーザガスを励起することにより、レーザ光を発振するようにしたレーザ発振器において、
上記対向する陽極および陰極の内側の各放電電極近傍に、それぞれ先端部が放電管内に突出するリング状突起を設け、
上記放電電極により形成される放電領域を、上記リング状突起によって、放電管の軸心側に絞らせるようにしたことを特徴とするレーザ発振器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F071CC01
, 5F071CC03
, 5F071EE08
, 5F071JJ08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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