特許

J-GLOBAL ID：200903003628059017

圧力検出装置

発明者： 佐々木 慶治 ,  大谷 浩一 ,  小金井 幸雄
出願人/特許権者： 株式会社不二工機
代理人 (1件)： 沼形 義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-098975
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148591
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤフラムに絶縁体の薄板を使用した歪ゲージ式圧力検出装置において、ダイヤフラムの過大な変形や破壊を阻止する。【解決手段】 表面に歪ゲージ5を有する絶縁性ダイヤフラム2と、ダイヤフラムの歪ゲージを設けた表面に対向して配置されるとともに歪ゲージを設けた前記表面から所定の間隔を保持して底面32が位置する基板3とからなる圧力検出装置1において、ダイヤフラム2にアルミナまたはジルコニア等のセラミックもしくはシリコンまたは水晶を用いるとともに、基板3を、ダイヤフラム2と同様の材質またはダイヤフラムと対向する面を絶縁処理した金属で構成し、さらに、ダイヤフラムと基板を低融点ガラス4を用いて固着した。

請求項（抜粋）：

表面に歪ゲージを有する絶縁性ダイヤフラムと、ダイヤフラムの歪ゲージを設けた表面に対向して配置されるとともに歪ゲージを設けた前記表面から所定の間隔を保持して底面が位置する基板とからなる圧力検出装置において、ダイヤフラムにアルミナまたはジルコニア等のセラミックもしくはシリコンまたは水晶等の絶縁体を使用した圧力検出装置。

IPC (4件)：

G01L 9/04 101 ,  G01B 7/16 ,  G01L 1/22 ,  G01L 19/06 102

FI (4件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 1/22 M ,  G01L 19/06 102 ,  G01B 7/18 G