特許

J-GLOBAL ID：200903003634741806

電子銃の製造方法

発明者： 橋口 原 ,  森川 陽二
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-088711
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290718
出願日： 1992年04月09日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 均一な形状の電子銃を特殊な手法を用いることなく容易に形成することができる電子銃の製造方法を提供することである。【構成】 上記諸目的は、基板1上に酸化膜2を成膜する工程と、該酸化膜上に耐酸化性膜3を成膜する工程と、該耐酸化性膜上に金属膜4を成膜する工程と、該耐酸化性膜および金属膜の一部を周辺が鋭角な形状にパターニングして該酸化膜を露出する工程と、該基板を熱酸化することにより該金属膜の周辺が鋭角な形状の部分を上昇させ先端部分を基板に対して垂直な方向に尖った状態にする工程とを具備することを特徴とする電子銃の製造方法により達成される。

請求項（抜粋）：

基板上に酸化膜を成膜する工程と、該酸化膜上に耐酸化性膜を成膜する工程と、該耐酸化性膜上に金属膜を成膜する工程と、該耐酸化性膜および金属膜の一部を周辺が鋭角な形状にパターニングして該酸化膜を露出する工程と、該基板を熱酸化することにより該金属膜の周辺が鋭角な形状の部分を上昇させ先端部分を基板に対して垂直な方向に尖った状態にする工程とを具備することを特徴とする電子銃の製造方法。