特許
J-GLOBAL ID：200903003642497914
熱処理炉の排気方法および熱処理炉
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091012
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297179
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 ウエーハへのパーティクルの付着を防止するとともに、排気に要する処理時間を短くする。【構成】 3つの排気口3をウエーハ7とボート6の接触部近傍に設けたことにより、反応管1内を真空引きする際のウエーハ7表面の気流10は、ウエーハ7表面と略平行で、かつウエーハ7の内側からウエーハ7の外側に向かう方向に発生させることができ、ウエーハ7とボート6との接触部近傍に多数存在するパーティクルは気流10とともにウエーハ7の外側に飛散し、ウエーハ7の内側には飛散しないため、ウエーハ7表面への付着を防止することができる。また、パーティクル対策として従来行われてきた2段階に分けてはじめに排気速度を遅く(スローポンピング)する必要がないため、排気に要する処理時間を短くすることができる。
請求項（抜粋）：
周辺部をボートによって保持されたウエーハを反応管内に載置して前記ウエーハ表面に減圧気相成長法によって薄膜を形成する熱処理炉の排気方法であって、前記反応管内を真空引きする際に、前記ウエーハ表面と略平行で、かつ前記ウエーハの内側から外側に向かう方向の気流を発生させることを特徴とする熱処理炉の排気方法。
IPC (2件)：
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