特許
J-GLOBAL ID：200903003646390740
膜厚測定装置、膜厚測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古部 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363374
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161605
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：
【要約】【課題】 移動している多層膜フィルムにおける中間層の膜厚を精度良く測定する。【解決手段】 近赤外領域からなるストロボ光を発光するストロボ光源11と、このストロボ光源11からの光を搬送して、工場のラインを移動中の多層膜フィルムに対して照射するとともに、この多層膜からの反射光を搬送するバンドル型2分岐光ファイバ13と、このバンドル型2分岐光ファイバ13から得られた反射光をスペクトルに分解する分光器16と、この分光器16によりスペクトルに分解された反射光を電気信号に変換するマルチチャネルディテクタ17と、このマルチチャネルディテクタ17により得られた電気信号を処理して膜厚プロファイルとして表示する信号処理部20とを備えた。
請求項（抜粋）：
近赤外領域からなるストロボ光を発光する発光手段と、製造ラインを移動しているフィルムに対して前記発光手段からの前記ストロボ光を投光する投光手段と、前記投光手段により投光された前記ストロボ光により前記フィルムの各層からの反射光を受光する受光手段と、前記受光手段により受光された前記反射光に基づいて前記フィルムを構成する膜の厚さを測定する測定手段とを備えることを特徴とする膜厚測定装置。
Fターム (23件)：
2F065AA30
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065BB17
, 2F065BB22
, 2F065CC02
, 2F065CC31
, 2F065DD06
, 2F065DD11
, 2F065FF41
, 2F065FF51
, 2F065FF56
, 2F065GG08
, 2F065LL02
, 2F065LL03
, 2F065LL04
, 2F065LL22
, 2F065LL42
, 2F065LL67
, 2F065QQ16
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ29
