特許

J-GLOBAL ID：200903003649160311

走査型電子顕微鏡

発明者： 徳島 忍
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282846
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129169
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 容易に観察部位を電子顕微鏡の観察視野に導くことのできる操作性の良い走査型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 電子ビームを試料9上で走査するときに放出される2次電子をガス増幅し、増幅された2次電子を電流として検出して画像に変換する走査型電子顕微鏡において、電子ビームの照射軸X1と同軸の光軸X2を有する対物光学系を有し、電子ビームによる観察と同時に電子ビームの走査面を観察する光学式顕微鏡を具備する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料上で走査するときに放出される2次電子をガス増幅し、増幅された2次電子を電流として検出して画像に変換する走査型電子顕微鏡において、前記電子ビームによる観察と同時に前記電子ビームの走査面を観察する光学式顕微鏡を具備することを特徴とする走査型電子顕微鏡。