特許

J-GLOBAL ID：200903003650112495

カーボンファイバー、カーボンファイバーを有する電子放出素子および画像表示装置の製造方法

発明者： 佐藤 崇広
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-274231
公開番号（公開出願番号）：特開2004-107162
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】基板1上の触媒金属13の膜を加熱して触媒粒子14を形成し、この触媒粒子14にカーボンを付着成長させるカーボンファイバー15の製造方法において、得られるカーボンファイバー15の密度を制御できるようにする。【解決手段】基板11と触媒金属13の間に、少なくとも、Si、Al、Au、Ag、CuおよびPtの中から選択された金属と、W、Mo、Ta、TiおよびCrの中から選択された金属とを含む合金層12を介在させ、この合金層12の組成比によって触媒粒子14の密度を制御することで、得られるカーボンファイバー15の密度を制御する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

カーボンファイバーの製造方法であって (A)基板上に、少なくとも、Si、Al、Au、Ag、CuおよびPtの中から選択された金属と、W、Mo、Ta、TiおよびCrの中から選択された金属とを含む合金層を配置する工程と、 (B)前記合金層上に触媒粒子を形成する工程と、 (C)炭素を含むガスを前記触媒粒子に接触させて加熱することでカーボンファイバーを形成する工程と、 を有することを特徴とするカーボンファイバーの製造方法。

IPC (2件)：

C01B31/02 ,  H01J9/02

FI (2件)：

C01B31/02 101F ,  H01J9/02 B

Fターム (28件)：

4G146AA11 ,  4G146AB06 ,  4G146AC22B ,  4G146AD29 ,  4G146AD32 ,  4G146BA11 ,  4G146BA12 ,  4G146BB23 ,  4G146BC33B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4G146BC48 ,  5C127AA01 ,  5C127BA09 ,  5C127BA13 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127BB08 ,  5C127CC03 ,  5C127CC10 ,  5C127DD07 ,  5C127DD12 ,  5C127DD38 ,  5C127DD39 ,  5C127DD62 ,  5C127DD64 ,  5C127EE17