特許
J-GLOBAL ID:200903003650112495

カーボンファイバー、カーボンファイバーを有する電子放出素子および画像表示装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-274231
公開番号(公開出願番号):特開2004-107162
出願日: 2002年09月20日
公開日(公表日): 2004年04月08日
要約:
【課題】基板1上の触媒金属13の膜を加熱して触媒粒子14を形成し、この触媒粒子14にカーボンを付着成長させるカーボンファイバー15の製造方法において、得られるカーボンファイバー15の密度を制御できるようにする。【解決手段】基板11と触媒金属13の間に、少なくとも、Si、Al、Au、Ag、CuおよびPtの中から選択された金属と、W、Mo、Ta、TiおよびCrの中から選択された金属とを含む合金層12を介在させ、この合金層12の組成比によって触媒粒子14の密度を制御することで、得られるカーボンファイバー15の密度を制御する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
カーボンファイバーの製造方法であって (A)基板上に、少なくとも、Si、Al、Au、Ag、CuおよびPtの中から選択された金属と、W、Mo、Ta、TiおよびCrの中から選択された金属とを含む合金層を配置する工程と、 (B)前記合金層上に触媒粒子を形成する工程と、 (C)炭素を含むガスを前記触媒粒子に接触させて加熱することでカーボンファイバーを形成する工程と、 を有することを特徴とするカーボンファイバーの製造方法。
IPC (2件):
C01B31/02 ,  H01J9/02
FI (2件):
C01B31/02 101F ,  H01J9/02 B
Fターム (28件):
4G146AA11 ,  4G146AB06 ,  4G146AC22B ,  4G146AD29 ,  4G146AD32 ,  4G146BA11 ,  4G146BA12 ,  4G146BB23 ,  4G146BC33B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146BC44 ,  4G146BC48 ,  5C127AA01 ,  5C127BA09 ,  5C127BA13 ,  5C127BA15 ,  5C127BB07 ,  5C127BB08 ,  5C127CC03 ,  5C127CC10 ,  5C127DD07 ,  5C127DD12 ,  5C127DD38 ,  5C127DD39 ,  5C127DD62 ,  5C127DD64 ,  5C127EE17

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