特許
J-GLOBAL ID：200903003652326573
グレーティングの形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-240571
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090545
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 所望の反射特性を有するグレーティングを形成できるグレーティング形成方法を提供すること。【解決手段】 基板2上に導波路であるコア3を設けた平面導波路1に紫外線を照射して、コア3に周期的な屈折率変化領域を形成して行うグレーティング31の形成方法において、コア3の温度をほぼ一定に保ちながら紫外線の照射を行う。このため、紫外線の照射時におけるコア3の熱変形が防止され、コア3に所望の反射特性を有するグレーティング31が確実に形成できる。
請求項（抜粋）：
基板上に導波路を設けた平面導波路に紫外線を照射して、前記導波路に周期的な屈折率変化領域を形成して行うグレーティングの形成方法において、前記紫外線の照射時に前記導波路の温度をほぼ一定に保つことを特徴とするグレーティングの形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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