特許
J-GLOBAL ID:200903003653007609

固体撮像装置の評価装置及び評価方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-052378
公開番号(公開出願番号):特開平5-260528
出願日: 1992年03月11日
公開日(公表日): 1993年10月08日
要約:
【要約】【目的】 固体撮像装置の出力電荷の測定ばらつきを低減し、測定精度を向上させる。【構成】 駆動回路2により固体撮像装置駆動用にバイアス電圧および駆動パルスを印加して、動作状態にする。次に、光源3により所定の光量の光を照射する。固体撮像装置1は、照射された光に応じて電荷が発生する。同期回路5より、駆動回路2と同期して電流計4の測定開始と終了を制御する。
請求項(抜粋):
固体撮像装置と、前記固体撮像装置を駆動する駆動回路と、前記固体撮像装置の電荷出力を測定する電流計と、前記駆動回路と同期し前記電流計の測定時間を制御する同期回路を備えた固体撮像装置の評価装置。
IPC (5件):
H04N 17/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 27/14 ,  H04N 1/00 106 ,  H04N 5/335
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平2-092191
  • 特開昭63-273421
  • 特開昭63-029172

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