特許

J-GLOBAL ID：200903003654858190

ポリシング装置

発明者： 半田 幸樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-316167
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156703
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、回転テーブルの上面に設けられた研磨布に、研磨ヘッドの取付面に固定される被加工物を押圧してポリシングを行うポリシング装置に関し、簡易な構造でポリシングおよび研磨布の修正を同時に行うことを目的とする。【解決手段】 回転テーブルの上面に設けられた研磨布に、研磨ヘッドの取付面に固定される被加工物を押圧してポリシングを行うポリシング装置において、前記研磨ヘッドの取付面の外周にリング部材を配置し、前記リング部材の研磨布側となる面に砥粒を固着してなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転テーブルの上面に設けられた研磨布に、研磨ヘッドの取付面に固定される被加工物を押圧してポリシングを行うポリシング装置において、前記研磨ヘッドの取付面の外周にリング部材を配置し、前記リング部材の研磨布側となる面に砥粒を固着してなることを特徴とするポリシング装置。