特許
J-GLOBAL ID：200903003662553845

金属・プラスチックハイブリッドマスク及びその製造方法

発明者：
下山 正

下山 正 について

, 
谷口 義博

谷口 義博 について


出願人/特許権者：
株式会社プロセス・ラボ・ミクロン

株式会社プロセス・ラボ・ミクロン について


代理人 (1件)： 吉沢 敏夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-124713
公開番号（公開出願番号）：特開平10-138657
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：
【要約】【課題】 クリームハンダの抜け性がよく、寸法精度、連続印刷性、密着性の優れた金属・プラスチックハイブリッドマスクを提供する。【解決手段】 プラスチック基板に少なくとも1種の金属が積層され、積層体全体を通してフットプリント形状の開口部を有することを特徴とする金属・プラスチックハイブリッドマスクであって、両面に金属が積層されたプラスチック基板の両面にフォトレジスト層を形成した後、UVリソグラフィー法により両面にレジストパターンを形成して、金属層を露出させ、次に露出した金属層をエッチング除去した後、さらにプラスチックエッチャントでプラスチック層をエッチング除去して全層を通して開口部を形成した後、片面の金属を剥離して製造される。
請求項（抜粋）：
プラスチック基板に少なくとも実質的に1種の金属が積層され、積層体全体を通してフットプリント状の開口部を有していることを特徴とする金属・プラスチックハイブリッドマスク。
IPC (3件)：
B41N 1/24 ,  B41C 1/14 101 ,  H05K 3/34 505
FI (3件)：
B41N 1/24 ,  B41C 1/14 101 ,  H05K 3/34 505 D
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM