特許

J-GLOBAL ID：200903003663325218

液晶装置、液晶装置の製造装置及び製造方法

発明者： 矢崎 正幸
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-258218
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066401
出願日： 2001年08月28日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】貼り合わせ工程時のアライメント精度を向上させる。【解決手段】ステージ83は、載置されたマザーガラス基板81を保持した後加熱する。これにより、マザーガラス基板81の反りが抑制される。石英ヘッド86は、対向基板82を保持してマザーガラス基板81上の対象となる素子基板上に配置し、アライメントを施しながら圧着する。更に、石英ヘッド86は、UV光源89からの紫外線をシール材に照射して、光硬化させる。シール材が光硬化するまでの間、マザーガラス基板81は加熱されており、反りが抑制されているので、高いアライメント精度での貼り合わせ固着が可能となる。

請求項（抜粋）：

第1の液晶基板が複数構成されたマザー基板を保持すると共に前記マザー基板を加熱可能なステージと、前記ステージ上の前記第1の液晶基板に第2の液晶基板を貼り合わせて固着する固着手段とを具備したことを特徴とする液晶装置の製造装置。

IPC (5件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/35

FI (5件)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 342 Z ,  G09F 9/35

Fターム (33件)：

2H088FA01 ,  2H088FA03 ,  2H088FA04 ,  2H088FA05 ,  2H088FA16 ,  2H088FA26 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088MA20 ,  2H089MA03 ,  2H089NA24 ,  2H089NA38 ,  2H089NA42 ,  2H089NA44 ,  2H089NA60 ,  2H089QA04 ,  2H089QA16 ,  2H089TA01 ,  2H089TA06 ,  2H089TA09 ,  5C094AA03 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA43 ,  5C094DA12 ,  5C094GB01 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK02 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10