静電マイクロアクチュエータを有する光マイクロスイッチおよびその使用方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-540614
公開番号（公開出願番号）：特表2002-510059
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】レーザ光線を受け取るために適合された入口ポート(150)および複数の出口ポート(151)を有する本体(213)を具備した、経路に沿って伸びるレーザ光線と共に使用するための光マイクロスイッチ(104)。複数のマイクロモータ(180a,180b)に結合された複数のミラー(103)が、上記本体に設けられている。マイクロモータは、ミラーをレーザ光線の経路外の第一の位置からレーザ光線の経路の中の第二の位置へと選択的に動かして、レーザ光線を出口ポートの一つへと向ける。夫々のマイクロモータは、夫々のミラーを第一および第二の位置の一方へ動かすために、少なくとも一つの静電駆動される櫛型アセンブリーをその中に有している。コントローラが電気的にマイクロモータに結合され、マイクロモータに制御信号を与える。

請求項（抜粋）：

経路に沿って伸びるレーザ光線と共に使用するための光マイクロスイッチであって:レーザ光線を受け取るために適合された入口ポートおよび複数の出口ポートを有する本体と、該本体に備えられた複数のミラーと、前記本体に備えられた複数のマイクロモータと、前記複数のミラーを夫々の複数のマイクロモータに結合するための取り付け手段とを具備し、前記マイクロモータは、前記ミラーをレーザ光線の経路外の第一の位置からレーザ光線の経路の中の第二の位置へと選択的に動かして、レーザ光線を出口ポートの一つに向け、前記マイクロモータの夫々は、各ミラーを前記第一および第二の位置の一方へ動かすために少なくとも一つの静電駆動される櫛型組立体をその中に有しており、前記マイクロモータに制御信号を与えるために、前記マイクロモータにはコントローラが電気的に結合されている光マイクロスイッチ。

IPC (3件)：

G02B 26/08 , G11B 7/00 , H02N 1/00

FI (3件)：

G02B 26/08 E , G11B 7/00 , H02N 1/00

Fターム (14件)：

2H041AA11 , 2H041AA14 , 2H041AA16 , 2H041AB13 , 2H041AC06 , 2H041AZ01 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08 , 5D090AA01 , 5D090BB05 , 5D090CC02 , 5D090DD03 , 5D090FF50 , 5D090LL02

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