特許
J-GLOBAL ID：200903003667663410
フェライト系ステンレス鋼及び接流体部品並びに酸化不動態膜の形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-167993
公開番号（公開出願番号）：特開2004-315975
出願日： 2004年06月07日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【目的】 複合電解研磨を行うことなく、最表面にクロム酸化物からなる層を有する酸化不動態膜を形成することが可能な不動態膜形成方法を提供すること。 金属汚染フリー、放出ガス特性、非触媒性及び耐腐食性に優れた超高純度流体供給システム、プロセス装置、接流体部品を提供すること。【構成】 Mn:0.03重量%以下、S:0.001重量%以下、Cu:0.05重量%以下、C:0.01重量%以下、Al:0.01重量%以下であるフェライト系ステンレス鋼の表面を電解研磨し、次いで、不活性ガス中においてベーキングを行うことにより該ステンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、不活性ガスと、500ppb〜2%のH2Oガスとの混合ガス雰囲気中において、300°C〜600°Cの温度で熱処理を行うことにより最表面に非晶質のクロム酸化物からなる層を有する酸化不動態膜を形成することを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
Cr:29重量%〜35重量%、C及びNの合計が0.01重量%以下である高純度フェライト系ステンレス鋼。
IPC (5件)：
C22C38/00
, B23K31/00
, C22C38/18
, C22C38/42
, C23C8/16
C22C38/00 302Z
, B23K31/00 A
, C22C38/18
, C22C38/42
, C23C8/16
