窒化アルミニウム焼結体およびそれを用いた基板載置装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-240592
公開番号（公開出願番号）：特開2009-067662
出願日： 2007年09月18日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：

【課題】高温における全放射率が高く、基板載置装置に適した窒化アルミニウム焼結体を提供し、また、高温域においても充分な熱応答性を有する低パーティクル性の基板載置装置を提供する。【解決手段】200°Cにおける全放射率が60%以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体を用いた基板載置装置。発熱抵抗体を備える基体と、前記基体の表面に形成された突起部と、を具備する基板載置装置であって、前記基体の200°Cにおける全放射率が60%以上である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

200°Cにおける全放射率が60%以上であることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体

IPC (3件)：

C04B 35/581 , H01L 21/02 , C04B 41/91

FI (3件)：

C04B35/58 104Y , H01L21/02 Z , C04B41/91 Z

Fターム (24件)：

4G001BA09 , 4G001BA36 , 4G001BB09 , 4G001BB36 , 4G001BC23 , 4G001BC24 , 4G001BC52 , 4G001BC54 , 4G001BD03 , 4G001BD33 , 4G001BD38 , 4G001BE21 , 4G001BE33 , 4G001BE35 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA05 , 5F031HA16 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031NA05 , 5F031PA11 , 5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-064122 出願人：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社

審査官引用 (5件)

加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-093180 出願人：日本碍子株式会社
ウエハ処理装置、ウエハステージおよびウエハ処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-052576 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-016260 出願人：株式会社日本セラテック

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