特許

J-GLOBAL ID：200903003670357400

感光性組成物

発明者： 川村 浩一 ,  小林 史和 ,  山中 司
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169032
公開番号（公開出願番号）：特開平7-028245
出願日： 1993年07月08日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、安全性、熱安定性及び製造適性に優れた光分解性化合物を含有する新規な感光性組成物を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、下記一般式(I) で示されるスルホンイミド化合物を含有する感光性組成物である。R1 -SO2 -NR3 -SO2 -R2(式中、R1 、R2 およびR3 は、各々独立して芳香族基、置換芳香族基、ヘテロ芳香族基、置換ヘテロ芳香族基、アルキル基又は置換アルキル基を表わす。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(I) で示されるスルホンイミド化合物を含有する感光性組成物。R1 -SO2 -NR3 -SO2 -R2 (I)(式中、R1 、R2 およびR3 は、各々独立して芳香族基、置換芳香族基、アルキル基又は置換アルキル基を表わす。)

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 507 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027