特許
J-GLOBAL ID：200903003675247301
反射光測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-015559
公開番号（公開出願番号）：特開平5-209784
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 本発明は反射光測定装置に関し、高精度な計測が容易な反射光測定装置を提供することを目的としている。【構成】 測定対象物に対して光を照射する光照射手段と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された光の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、前記反射光検出手段により検出した光の明度に基づいて前記測定対象物を測定する反射光測定装置であって、前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線状の光センサにより前記反射光の空間分布を検出する光検出部と、該光検出部により検出する反射光の明度を該線状の光センサにおける光検出位置に基づいて補正する明度補正部とを有するように構成する。
請求項（抜粋）：
測定対象物に対して光を照射する光照射手段と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された光の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、前記反射光検出手段により検出した光の明度に基づいて前記測定対象物を測定する反射光測定装置であって、前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線状の光センサにより前記反射光の空間分布を検出する光検出部と、該光検出部により検出する反射光の明度を該線状の光センサにおける光検出位置に基づいて補正する明度補正部と、を有することを特徴とする反射光測定装置。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
