特許

J-GLOBAL ID：200903003676257181

蒸着用高純度Ag

発明者： 田中 健一
出願人/特許権者： 田中貴金属工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090701
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279992
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】 成膜時被膜の発生することがない蒸着用高純度Agの提供にある。【構成】 Ag中に許容できる不純物元素及びその含有量としてCu、Zn、Cd、Ni、Fe、Sb、Bi、Si、Pd、Pb、Mg、Ca、Mn、Al、Cr、Snのうち1種または2種以上合計で1〜100ppm、残Ag及び不可避金属とすることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

Ag中に許容できる不純物元素及びその含有量として、Cu、Zn、Cd、Ni、Fe、Sb、Bi、Si、Pd、Pb、Mg、Ca、Mn、Al、Cr、Snのうち1種または2種以上合計で1〜100ppm、残Ag及び不可避金属としたことを特徴とする蒸着用高純度Ag。

IPC (2件)：

C23C 14/14 ,  C22C 5/06