特許
J-GLOBAL ID：200903003686604041

光学膜成膜装置及びその制御方法

発明者：
飯田 竜一

飯田 竜一 について

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植村 智也

植村 智也 について

, 
遠藤 達哉

遠藤 達哉 について


出願人/特許権者：
月島機械株式会社

月島機械株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-173935
公開番号（公開出願番号）：特開2005-350740
出願日： 2004年06月11日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：
【課題】複数の波長の照射光を用いて、蒸着膜の透過光の強度を算出及び測定することにより、基板上に所定の膜厚の蒸着膜を成膜する光学膜成膜装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】入射光に含まれる波長の中の複数の波長を指定し、所望の膜厚の蒸着膜における、複数の波長に対する理論上の透過光の強度を算出し、成膜処理中において蒸着膜を透過する透過光の強度を測定するステップS01を有する。また、理論上の透過光の強度と、実際に測定される透過光の強度とが一致しているか否かを判定するステップS03を有する。更に、複数の波長の全てにおいて、理論上の透過光の強度と、実際に測定される透過光の強度とが一致している場合に成膜処理を停止するステップS05を有する。【選択図】図1
請求項１：
蒸着膜への入射光に対する透過光を測定することにより、基板上に所望の膜厚の蒸着膜を成膜する光学膜成膜装置の制御方法において、 前記入射光に含まれる波長の中の複数の波長を指定する第1のステップと、 前記基板に成膜する蒸着膜の膜厚を指定する第2のステップと、 前記蒸着膜の膜厚における、前記複数の波長に対する理論上の透過光の強度s1を算出する第3のステップと、 前記基板への蒸着膜の成膜処理中に、前記蒸着膜を透過する透過光の強度s2を測定する第4のステップと、 前記透過光の強度s1と前記透過光の強度s2とが一致しているか否かを判定する第5のステップと、 前記複数の波長の全てにおいて、前記透過光の強度s1と、前記透過光の強度s2とが一致している場合に成膜処理を停止する第6のステップと、 を有することを特徴とする光学膜成膜装置の制御方法。
IPC (3件)：
C23C14/54 ,  C23C14/24 ,  G01B11/06
FI (3件)：
C23C14/54 F ,  C23C14/24 U ,  G01B11/06 Z
Fターム (18件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065FF44 ,  2F065GG03 ,  2F065LL01 ,  2F065LL02 ,  2F065LL30 ,  2F065LL67 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ25 ,  4K029AA09 ,  4K029BA48 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB05 ,  4K029EA01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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