特許

J-GLOBAL ID：200903003689021012

高効率の縦型空洞表面放出レーザ及びその製造方法

発明者： マイケル・エス・レビー ,  チャン-ロン・シェー ,  ヒシン-チュン・リー
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123340
公開番号（公開出願番号）：特開平6-350194
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、新規であって改良された高効率の縦型空洞表面放出レ-ザを提供することを目的とする。【構成】 本発明による高効率の縦型空洞表面放出レ-ザは、第1および第2ミラ-・スタック(31,37)とそれらの間に挟まれる活性領域(32)とを有する。第2ミラ-・スタック(37)は露出した端部表面および外側側壁並びに中心付近に配置される光放出領域を有するメサ内に形成される。露出した外側側壁に隣接するメサの部分(38)は、減少した電気的コンダクタンスを有し、外側側壁から中心付近に配置される光放出領域へ動作電流を集める。その部分の電気的コンダクタンスは、その外側側壁を酸化またはエッチングすることによって低減される。

請求項（抜粋）：

第1および第2ミラ-・スタック(31,37)とそれらの間に挟まれた活性領域(32)を形成する段階;露出した端部表面および外側側壁と中心付近に配置される光放出領域(42)とを有するメサ内に前記第2ミラ-・スタック(37)を形成する段階;動作電流を前記外側側壁から前記中心付近に配置された光放出領域へ導くため前記露出した外側側壁に隣接する前記メサの部分(38)の前記電気的コンダクタンスを減少させる段階;および減少した電気的コンダクタンスを有する前記メサの前記部分上の位置関係で少なくとも前記メサの前記端部表面上に電気的コンタクト(40)を形成する段階;から構成されることを特徴とする高効率縦型空洞表面放出レ-ザを形成する方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-086883
  
• 特開昭63-143889
  
• 特開平4-026178