特許
J-GLOBAL ID:200903003698165990
研磨剤
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松本 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-142690
公開番号(公開出願番号):特開平9-324174
出願日: 1996年06月05日
公開日(公表日): 1997年12月16日
要約:
【要約】【課題】 研磨面に生じる引っかき傷をなくし、研磨面に研磨剤を付着残存させないことである。【解決手段】 研磨剤は、有機ポリマー骨格と、前記有機ポリマー骨格中の少なくとも1個の炭素原子にケイ素原子が直接化学結合した有機ケイ素を分子内に有するポリシロキサン骨格とを含み、前記ポリシロキサン骨格を構成するSiO2 の量が25wt%以上である有機質無機質複合体粒子と、水および/またはアルコールを含む分散媒とを含有する分散液からなる。
請求項(抜粋):
有機ポリマー骨格と、前記有機ポリマー骨格中の少なくとも1個の炭素原子にケイ素原子が直接化学結合した有機ケイ素を分子内に有するポリシロキサン骨格とを含み、前記ポリシロキサン骨格を構成するSiO2 の量が25wt%以上である有機質無機質複合体粒子と、水および/またはアルコールを含む分散媒と、を含有する分散液からなる研磨剤。
IPC (2件):
C09K 3/14 550
, C09K 3/14
FI (3件):
C09K 3/14 550 D
, C09K 3/14 550 K
, C09K 3/14 550 Z
引用特許:
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